Описание
Raphael Optech специализируется на разработке и производстве оптических систем для 3D-измерений и визуализации. Национальное высокотехнологичное предприятие, инновационное предприятие в провинции Цзянсу, обладающее более чем сорока патентами на изобретения и авторскими правами на программное обеспечение. Компания стремится предоставлять точные «глаза» для передовых производств, предлагая комплексные 3D-решения для измерений на всех этапах — от НИОКР до производства и контроля качества.
Особенности
Система оснащена функциями измерения прогиба (BOW), толщины (THK), микротопологии, толщины диэлектрических слоёв и других геометрических параметров пластин. Широко применяется в производстве полупроводниковых подложек, изготовлении пластин, контроле технологических процессов при корпусировании микросхем, сортировке пластин по толщине, а также в производстве подложек, дисплейных панелей, MEMS-устройств и других изделий.
Модульная интеграция функций: измерение стрелы прогиба, толщины, толщины слоёв, шероховатости, толщины диэлектрических плёнок и др. Одна система позволяет проводить измерения THK, TTV, LTV, BOW, WARP, шероховатости Sa/Ra, толщины слоёв и плёнок.
Применяется для следующих пластин:
Кремниевые (Si), карбид-кремниевые (SiC), стеклянные подложки, арсенид-галлиевые (GaAs), сапфировые и другие пластины диаметром от 4 до 12 дюймов; соединённые (бондированные) пластины; пластины с нанесёнными плёночными покрытиями.